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額定功率

1~2kW

2~5kW

5~10kW

10~20kW

陽極氣體流量控制范圍

0.4~40SLPM

1~100SLPM

2~200SLPM

6~600SLPM

陰極氣體流量控制范圍

1.5~150SLPM

4~400SLPM

8~800SLPM

15~1500SLPM

流量控制精度

±0.8%RD+0.2%FS

±0.8%RD+0.2%FS

±0.8%RD+0.2%FS

±0.8%RD+0.2%FS

增濕方式

鼓泡

鼓泡

鼓泡

鼓泡

露點溫度控制范圍

環(huán)境溫度+10℃~90℃

環(huán)境溫度+10℃~90℃

環(huán)境溫度+10℃~90℃

環(huán)境溫度+10℃~90℃

露點溫度控制精度

±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)）

±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)）

±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)）

±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)）

反應氣體溫度控制范圍

環(huán)境溫度+10℃~95℃

環(huán)境溫度+10℃~95℃

環(huán)境溫度+10℃~95℃

環(huán)境溫度+10℃~95℃

反應氣體溫度測量精度

≤±0.5℃（穩(wěn)態(tài)）

≤±0.5℃（穩(wěn)態(tài)）

≤±0.5℃（穩(wěn)態(tài)）

≤±0.5℃（穩(wěn)態(tài)）

反應氣體溫度控制精度

±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)）

±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)）

±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)）

±1℃（穩(wěn)態(tài)）；±2℃（動態(tài)）

升溫速率

1~5℃

1~5℃

1~5℃

1~5℃

壓力檢測范圍

0~0.4MPa

0~0.4MPa

0~0.4MPa

0~0.4MPa

壓力檢測精度

±0.5%FS/±0.25%FS

±0.5%FS/±0.25%FS

±0.5%FS/±0.25%FS

±0.5%FS/±0.25%FS

背壓控制范圍

0.02~3bar

0.02~3bar

0.02~3bar

0.02~3bar

氣體背壓控制精度

穩(wěn)態(tài)控制精度≤2kPa

穩(wěn)態(tài)控制精度≤2kPa

穩(wěn)態(tài)控制精度≤2kPa

穩(wěn)態(tài)控制精度≤2kPa

冷卻液溫度控制范圍

環(huán)境溫度～95℃

環(huán)境溫度～95℃

環(huán)境溫度～95℃

環(huán)境溫度～95℃

冷卻液流量范圍

1~10LPM

3~30LPM

10~100LPM

12~200LPM

冷卻液流量控制精度

精度≤±1%FS

精度≤±1%FS

精度≤±1%FS

精度≤±1%FS

冷卻液壓力控制精度

穩(wěn)態(tài)控制精度≤±3kPa

穩(wěn)態(tài)控制精度≤±3kPa

穩(wěn)態(tài)控制精度≤±3kPa

穩(wěn)態(tài)控制精度≤±3kPa

單電壓巡檢功能

通道數(shù)：40通道，可擴展；單電壓測量范圍：-4V~4V,精度：≤±1mV

冷卻液在線電導率監(jiān)測

0.05～20μs/cm、精度≤±3%F.S/≤±1.5%FS

電子負載（電壓電流可按需調(diào)整）

40V/600A

40V/1000A

40V/1000A

40V/1000A

交流阻抗

可集成

可集成

可集成

可集成